由我公司中標(biāo)承建的廈門某半導(dǎo)體企業(yè)有機(jī)廢氣處理項(xiàng)目，已經(jīng)順利完成建設(shè)和調(diào)試，于2024年9月正式投入運(yùn)行。該項(xiàng)目是我司首個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)廢氣治理項(xiàng)目，由我司全面負(fù)責(zé)從設(shè)計(jì)、采購(gòu)、制造到安裝、調(diào)試及售后服務(wù)等各個(gè)環(huán)節(jié)，確保了整個(gè)過程的專業(yè)性和高效性。項(xiàng)目的順利竣工標(biāo)志著我司在環(huán)保技術(shù)領(lǐng)域的又一重要突破。
治理工藝
項(xiàng)目廢氣主要來源于清洗、CVD、光刻、濕法刻蝕、去膠及擴(kuò)散等工藝。有機(jī)廢氣成分復(fù)雜，包含異丙醇、丙酮、丙二醇單甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、乙酸丁酯、N-甲基-2-吡咯烷酮等，并含有少量高沸點(diǎn)物質(zhì)和含硅有機(jī)物。為了有效應(yīng)對(duì)上述廢氣問題，本項(xiàng)目采用“高效過濾+沸石轉(zhuǎn)輪吸附+TO”工藝進(jìn)行治理。本工藝廢氣處理效率超過95%，同時(shí)具有安全性高、運(yùn)行穩(wěn)定、運(yùn)行成本及故障率低、自動(dòng)化程度高、運(yùn)行管理方便等優(yōu)點(diǎn)。
治理效果
2024年9月有機(jī)廢氣凈化系統(tǒng)開始切入使用，投入既達(dá)滿產(chǎn)狀態(tài)。設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定，處理效果良好，煙囪出口在線檢測(cè)系統(tǒng)所測(cè)得的非甲烷總烴濃度在5~10mg/m3范圍內(nèi)，滿足 《廈門市大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》 （DB35/323-2018）中表1的排放標(biāo)準(zhǔn)。
